2019-07-23

旋片真空泵在等離子清洗技術中的應用

等離(lí)子清洗(xǐ)(PLASMA)是一種依靠處於“等離子態”的物(wù)質的“活化作用”,來去除物體表麵汙漬的一種清洗(xǐ)方法。它屬於電子工業清洗中的幹法清(qīng)洗,過程中需要真空泵製造(zào)一定的真空條件滿足清洗所需,東莞市香蕉污视频真(zhēn)空科技有限公司來說說旋片真空(kōng)泵在等離子清洗技(jì)術中的應用過程是怎麽一回事,以及講(jiǎng)解一下旋(xuán)片真空泵具有什麽(me)特點。

 

等離子清洗所需要的(de)等離子體主要通過特定(dìng)的氣體分子在真空、放電等特殊場合下產生,像(xiàng)低壓氣(qì)體輝光(guāng)等離(lí)子體(tǐ)。簡單(dān)地如開頭說,等離子清洗需要在真空狀態下進行(一(yī)般需保持在100Pa左右),所以需要德國旋片真空(kōng)泵進行抽真(zhēn)空作業。


旋片真空泵

 

等離子清洗用旋片真空泵的過程是(shì)如何的?

 

其主要過程包括:首先將需要清洗(xǐ)的工件送入(rù)真空室固定,啟動旋片(piàn)真空(kōng)泵等裝置(zhì)開始抽真(zhēn)空排氣到10Pa左右的真空度(dù);接著向真空室引入(rù)等離子清洗用(yòng)的氣體(根據清洗材質(zhì)的不同,選用(yòng)的氣體也不同,如氧氣、氫氣、氬(yà)氣、氮氣等(děng)),並將壓力保持在100Pa左右;在真空室內的電極與接地裝(zhuāng)置之間(jiān)施加高(gāo)頻電壓,使氣體被擊穿,並(bìng)通過輝光放電使其發生離子化,產生等離子體;在真空室內產生的(de)等離(lí)子體(tǐ)完全覆蓋被清洗工件後,開始清洗作業,清(qīng)洗過程會持續幾十(shí)秒到幾分鍾。整個過程(chéng)就是(shì)依靠等(děng)離子體在電磁場(chǎng)內空間運動,並轟擊被(bèi)處理物體表麵,從而達到表麵處理、清(qīng)洗和刻蝕的效果(清洗過(guò)程某種程度就是輕微的蝕刻工藝);清洗完畢(bì)後(hòu),排出汽化的汙垢及清洗氣體,同時向真(zhēn)空室內送入空氣恢複至正常大氣(qì)壓(yā)。

 

清洗過程中,在旋片(piàn)真空(kōng)泵控製真空(kōng)室的真空環境時,氣(qì)體的流量決定了發光色度:如果(guǒ)色度(dù)較重,說明(míng)真空(kōng)度低,氣體流量較大;而偏白時,則是真(zhēn)空度過高,氣體流量較小;具(jù)體需要根據所需的處理(lǐ)效果,來確定真空泵要(yào)實現的真空度。

 

等離子清洗(xǐ)技術不分(fèn)處理對象的基(jī)材類型,對金屬、半導體、氧化物和大多數高分子材料(如聚丙烯、聚脂(zhī)、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環氧、甚至聚四氟乙烯)等原基材(cái)料(liào)都能很好處理,並可(kě)實現(xiàn)整體和局部以及複雜結構的(de)清洗,還具備環保、安全、易控製等優勢,因(yīn)此在很多方麵,尤其是(shì)精密件清洗(xǐ)、新(xīn)半導體材料研究以及集(jí)成電(diàn)路器件製造業中逐漸取代了濕法清洗工藝。

 

香蕉污视频旋片真空泵在等離子(zǐ)清洗技術中的應(yīng)用同國內同類其(qí)他產品相比的優點:

1.使用方(fāng)便,安裝,維(wéi)護簡單;

2.旋片真空泵設有氣鎮閥,可抽除少量水蒸氣;

3.旋片真空泵的極限真空度高;

4.內裝強製進油,潤滑充分,性(xìng)能可靠;

5.設有自動防返(fǎn)油雙重保險裝置;

6.保持進氣壓強(qiáng)為1.33×10Pa時仍可連續運轉;

7.不(bú)漏(lòu)油、不噴油、不汙(wū)染工作環境。


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