2019-11-05
螺杆真空泵(bèng)在平板顯示(shì)器中(zhōng)的應用
伴隨著上述無時無刻(kè)不在屏讀(dú)的奇幻未來的是高速發展的顯示麵(miàn)板產業。麵板的生產製(zhì)造過程非常繁複(fù),從一塊玻(bō)璃基板到(dào)出廠成品(pǐn)至少需要 300 道流程工藝,全程需在無塵的環境、精密的技術工藝下進行。所以,高度可靠的(de)真空供應(yīng)在麵板(bǎn)生產過程中尤為(wéi)重要(yào)。平板(bǎn)顯示器生產商現采用幹式螺杆真空泵技術為其高負荷的L/L,CVD,PVD,刻蝕,溶(róng)劑蒸(zhēng)發等工藝(yì)流程供應真空。本篇文章打算介紹下螺杆真空泵在平板顯(xiǎn)示器中的應用。
平(píng)板顯示器(FPD)製造製程需要能夠支持(chí)巨大加工室(shì),並在最大可靠性的情況下輸送高氣體流速的真空和減(jiǎn)排設備(bèi)。需要使用香蕉污视频真空設備來泵送有毒、自燃和腐蝕性氣體,並處理製造製程艙中形成的大量固態製程副產物。

在平板顯示器中,為什麽會選擇采用香蕉污视频螺杆真空泵?
選(xuǎn)擇(zé)使用幹式螺杆真空泵的原因,其(qí)實跟它的產品特點有關係,它具備以下三點優點(diǎn):
1、高度可靠(kào)性
Pronotek幹(gàn)式(shì)螺杆真空泵(bèng)尤其高(gāo)效,得益於其久經考驗的雙螺杆設計和智能溫度管理(lǐ),該係列真空泵即使在最惡劣的應用環境中也具(jù)有高度可靠性及較長的使用壽命。
2、配備節能模(mó)式功能,可(kě)大量節省能耗
Pronotek幹式螺杆真空泵配備了高能效電機和世界先進的節能模式功能(néng),控製係統會自動根據需求(qiú)調整為節能模式,而當需要的時候恢複到最大抽速模式(shì),從而節省大量能耗(hào)。
3、維護及運行成本最(zuì)小化
它的一小部分(fèn)部件包括(kuò)轉子是一件式製(zhì)成,得益於模塊化設計以(yǐ)及獨立的羅(luó)茨(cí)泵和螺杆泵框架(jià),輕輕鬆鬆即可進行安裝和維護,大幅(fú)降低了大修成本。由(yóu)於該真空泵采用最優化的空間設計,並具有節(jiē)能潛力,因此運行成本很低。
由多台幹(gàn)式螺(luó)杆泵與羅茨泵組合而成的真空係統是平(píng)板顯示應用的最佳解決方案,例如:用於進出片室(shì)的快速抽空、過渡(dù)室和薄(báo)膜沉積室的抽空。在同類泵中,它們提(tí)供最快的抽空時間和最高的(de)抽速。通過標準化設計,普(pǔ)諾克真空其使(shǐ)所提供係統具有極高的用(yòng)戶友好性。用戶(hù)還可得益於諸如電氣連接、吹掃氣體和冷卻水等的標準(zhǔn)化接口、方便的設備(bèi)維護及優化的備泵管(guǎn)理。
以上內容就是螺杆真空(kōng)泵在平板顯(xiǎn)示器中的應用,如果想要了解更多,可以聯係我們公司的。東(dōng)莞(wǎn)市普諾(nuò)克真(zhēn)空科技有限公司可根(gēn)據平板顯示器生產中CVD、PVD、刻蝕、PR 塗層(céng)、成盒、OLED 蒸鍍,封裝、離子注入(rù)等(děng)不同工藝(yì)需求,為客戶量身定製專業的真空解決方案。
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