東莞市香蕉污视频真空科技有限公司旗下的旋片真空泵以清潔無汙染，而且擁有較（jiào）寬的（de）抽速範圍以及良好的節能、穩定、易維護等優勢廣泛應用於半導（dǎo）體行業，半導體工藝用真空主要用在蒸發，濺射，PECVD，真空幹法刻蝕， 真（zhēn）空吸附，測試設備（bèi），真（zhēn）空清掃等等鍵合（hé）工序，今天香蕉污视频的技術人員來給大家普及一下旋片真空泵在半（bàn）導體工藝中的應（yīng）用不可忽視的安全問題。

半導體材料（liào）可以分為（wéi）元素（sù）半導體和化合物半導體兩（liǎng）大類，元素半導體指矽、鍺單一元素形成的半導體，化合物指砷化镓、磷化銦等化合物形成的半導體。砷化（huà）镓的電子遷移速率比矽高5.7倍，非常適合用於高頻電路。

半導體生產製造過（guò）程中容易產生易燃易爆以及（jí）有（yǒu）毒的物質氣體，會對生產（chǎn）及人員安（ān）全造成威脅，因此，旋片（piàn）真空泵在（zài）半導體工藝中的應（yīng）用時需要注意的幾個安全事項主要有以下幾點內（nèi）容：

1、定期清洗旋片（piàn）真空泵及其他附件、過（guò）濾、管道，避免超（chāo）壓；

德國旋片真空泵在半導體（tǐ）中（zhōng）應用時，抽取介質過程中經過反應室與真空（kōng）泵，其成分可能極為（wéi）複雜，如SiH4與O2在泵口形成SiO2，TiCl4水解會形成HCl；假（jiǎ）設是油封式機械泵，這些氣體物質還可能與泵油發生化反。這些變化（huà）假設形成（chéng）顆粒、可凝物或者腐蝕性介質（zhì），就可能堵塞真空泵或管路係（xì）統，影響真空泵性能，造成（chéng）壓力上升或超壓，第一點中提（tí）到的危險性也更大（dà）。所以需要及時的清洗，並在必要的時候設置過濾設備。

2、有效稀釋有（yǒu）害氣體的濃度；

半導體易產（chǎn）生前麵所說的易燃易爆、有毒的有害氣體。所以半導體用真空泵應用過（guò）程中，在抽（chōu）取這些（xiē）介質時就必須防止它們（men）在真空泵內或者排氣過（guò）程中發（fā）生一些不可（kě）控的反應。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質，在與空氣或氧接觸的時候（hòu），會引起燃燒甚至爆炸；氫氣在空氣中的（de）混合（hé）比例達到一定（dìng）程（chéng）度與（yǔ）溫度時也會發生燃燒。這些都取決於該物質的量以及與環境的壓力（lì）、溫（wēn）度的（de）關係（xì）。因此半導（dǎo）體真空泵在抽取這些介質時，需要用氮氣之類的惰性氣體，在壓（yā）縮（suō）前即將（jiāng）這些氣體稀釋到（dào）當時條件下的（de）安（ān）全範圍。

3、注意氧氣的濃度；

空氣中的氧如果（guǒ）濃度過高也會發生燃燒及爆炸風險。所以一些情況下需注意氧的濃度，采用惰性氣體來（lái）稀釋，防止濃（nóng）度過高；假設是油封機械泵可（kě）能還需要采用一些（xiē）惰性的（de）與氧相容的真空泵油，並及時（shí）更換油濾和油品。

4、防止（zhǐ）溫度過高；

半導體在（zài）真空泵的應用中，有害氣體比較多（duō），而（ér）無論是幹式（shì）真空泵還是（shì）油封機（jī）械泵，泵腔內溫（wēn）度（dù）過（guò）高，高溫下易（yì）燃易爆及有毒（dú）氣體就會容易發生危險。

以上四個方麵就是旋片真空泵在半導體工藝中的應用過程中最主要（yào）的幾（jǐ）個安（ān）全事項（xiàng），我們一定不可忽視，技術人員說小問題對運轉、產量、效率和安全（quán）都有（yǒu）聯係，如果想要工作更加的順利，我（wǒ）們應該延長真空泵的使用壽命，努力協調平衡（héng），保證效率與安全。